最新解析ソフトのご紹介 2018.10.01.

FlatMasterは専用のソフトで測定・解析を行いますが、こちらが2018年に入り大幅にリニューアルされました。その機能の一部をご紹介します。

自在なカスタマイズと直感的なインターフェイス

最新ソフトのポイントはこの2点。従来通りの使い方に加え、より自由度の高い使い方ができるようになりました。

こちらが新しくなったプロット。プロット内の各所に選入力できるパラメータが設置されています。(例えば左上の枠の右中段、「Add」の「C-Profile」を選択すると円のスライスとグラフが追加されます。)

最新ソフトのプロット

こちらは従来のプロット。シンプルな作りです。

従来ソフトのプロット

例えば、ウェーハを測定するときのLTVの背景色。従来は公差内か否かを緑と赤でシンプルに表現していました。最新ソフトでは従来の表示に加え、傾きが直感的にわかるカラー表示も選択できます。

従来のプロット
最新のプロット
生画像

また、従来はフリンジスキャン中に動いているところしか見えなかった生画像も、結果として出力することができるようになりました。このほかにも

・使用頻度の高いレシピが見える

・測定データを自動でエクセルに出力

イベントログがすぐ見えるようになり、どこが問題かすぐ確認できる

・校正レシピはC#を使用したプログラムに

…など、細かく挙げればキリがありませんが、従来の機能はそのままに、より自由度の高いプログラムになっています。

操作内容も可視化

測定結果だけでなく、どんな解析をしたかも直感的にわかりやすくなっています。従来は文字のみの解析項目をツリーの形で追っていましたが、最新ソフトでは下図のように、「ひとつ前の状態」→「解析操作内容」→「解析結果」を視覚的に追えるようになりました。

※もちろん従来通りのツリー表示もできます。

ちなみに従来のソフトは【TMS(Tropel Measurement System)】という名前でしたが、リニューアル後の最新ソフトは【UMS(Ultimate Measurement Software)】。Ultimate(究極の)と冠する自信作です。

エスオーエルのデモ機も近い将来UMSにアップグレードされます。是非お試し下さい!

 

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