2機種の比較

 このページでは下記2機種を比較しています。
 平面度測定のみならFlatMaster-Industrialを、異なる面の平行度や高さも測定したいならFlatMaster MSPを選ぶのが一般的です。
 どちらか迷ったときはお気軽にお問合せ下さい。

平面度測定機
FlatMaster-Industrial
平面度・平行度・高さ測定機
FlatMaster MSP

特徴で比較

機種名 FlatMaster-Industrial FlatMaster MSP
メリット ・斜入射なのでMSPに比べて粗面でも
 データを取得しやすい。
・実績が豊富。
・平面度だけでなく、高さや平行度の
 測定が可能。
 →周波数解析でピクセル毎の高さを認識
  している。
デメリット ・同一平面の平面度測定のみ可能。
 →繋がっていない面は高さ方向の
  位置関係を認識できない。
・FM-Iよりは操作やレシピ設定が複雑。
・レーザー交換の際、FM-Iより納期と
 費用がかかる。

仕様で比較

機種名 FlatMaster-Industrial FlatMaster MSP
測定項目 平面度測定機 平面度、平行度、高さ測定機
測定原理 斜入射干渉計 垂直入射干渉計
測定波長 670nm半導体レーザー(FM40)
635nm半導体レーザー(FM100、200)
830nm AlGaAs半導体レーザー
ラインナップ FM40-I、FM100-I、FM200-I FM MSP40、FM MSP150、FM MSP300
測定可能サンプルサイズ ~φ40mm、~φ100mm、~φ200mm ~φ40mm、~φ150mm、~φ300mm
データポイント 約25万点 約78万点(MSP 40、150)
約400万点(MSP300)
ズーム機能 〇(サンプルサイズに合わせてズーム) ×(倍率固定)
縞感度

3μm/fringe 固定(FM40)
1.5~8μm/fringeの中で1つ指定
(FM100、200)

0.4μm/fringe 固定
縞感度可変オプション
(XR、XRA)
XR:4~8μm/fringeの中で3段階
XRA:1.5~8μm/fringeの中で3段階
(FM100、200)
×
測定分解能 0.01μm 0.01μm

測定精度
(Accuracy)

平面度 0.1μm以下 0.06μm
平行度 - 0.1μm
高さ - 0.25μm
繰り返し精度
(Repeatability)
(1σ)
平面度 0.025μm以下 0.02μm
平行度 - 0.025μm
高さ - 0.1μm
測定時間 サンプルセットから解析まで30秒以下 サンプルセットから解析まで約60秒

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048-441-1133

エスオーエル株式会社

〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1

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