平面度測定とは

平面度とは、JISによると「平面形体の幾何学的に正しい平面からの狂いの大きさ」を言います。

FlatMasterシリーズでは、取得したデータ(数十万点)から最小二乗平面を作り、最小二乗平面を基準面とした時の最大値-最小値で算出しています。

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