FlatMaster MSP

特集:FlatMaster MSPによる透明品の測定例

FlatMasterシリーズでは一般に干渉計では測定が難しいとされる、透明な製品も測定することができます。
特にFlatMaster MSPは、透明な製品の表面形状だけでなく、厚みムラ・裏面形状・厚みも測定することが可能です。

5インチガラスウェーハ

表面と裏面の干渉縞が混じり合った干渉縞

通常干渉計で透明なサンプルを測定すると、サンプルの表面を通り抜けて裏面で反射した光が混じってしまい、上図右のように干渉縞も混じり合った状態で検出されます。

これをそのまま平面度として処理してしまうと、右図のように正常に測定ができなくなってしまいます。

そこでFlatMaster MSPでは、独自のフリンジスキャン方式と解析ソフトを採用し、これらの干渉縞をそれぞれ分離する機能を標準搭載しています。

これにより、表面形状の測定に余計な干渉縞を取り除くだけでなく、それぞれの干渉縞を利用して厚みと厚みムラ、裏面形状を測定することが可能になりました。

【①参照平面での反射光】と【②サンプル表面での反射光】の干渉縞を1次フリンジといい、これは透明でない一般的なサンプルでも得られます。
1次フリンジを解析することで、表面形状(平面度)の測定をしています。

【②サンプル表面での反射光】と【③サンプル裏面での反射光】の干渉縞を2次フリンジといいます。これは透明なサンプルでしか得られず、1次フリンジと分離できない場合は平面度測定の邪魔をしてしまいます。
MSPではこの2次フリンジのみ取り出して解析することで、サンプル表面とサンプル裏面の高さの差を認識し、厚みムラの測定をすることができます。

【①参照平面での反射光】と【③サンプル裏面での反射光】の干渉縞を3次フリンジといいます。これも2次フリンジ同様透明なサンプルでしか得られません。
3次フリンジのみ取り出して解析することで、サンプルの裏面形状を測定することができます。
 

一度の測定で、下図のように表面形状、厚みムラ、裏面形状のプロットが全て表示されます。

厚さ約9mmの平行平面板

これらのデータを総合すると、厚みムラだけでなく厚み(高さ)が測定できるのもMSPの大きな特長です。

また、右の写真のような平行平面板の測定では、屈折率の分布も加味した光学的厚みムラを測定することも可能です。

以上のように、FlatMaster MSPは透明品の測定に非常に優れた装置です。

一方FlatMaster-Industrialでも、例えばウェーハのように比較的薄く、裏面の干渉縞が十分得られやすいサンプルであれば、独自の解析ソフトオプションを使用することで2次フリンジの分離が可能になります。
それによって、測定領域は限られますが厚みムラなど一部の項目を測定できる場合もあります。

お電話(048-441-1133)かフォームにてご希望の内容をお聞かせ頂ければ、最適な装置をご案内させて頂きます。いずれのデモ機もご用意がありますので、実際に貴社製品にて測定をお試し頂くことも可能です。
 

 

その他の測定事例

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