FlatMaster-Industrial

【測定事例】透明品:ガラスウェーハ

FlatMasterシリーズなら透明基板でも問題なく測定出来ます。CorningTropel社の特許でもある専用ソフト処理により、表面からの干渉縞と裏面からの干渉縞を分離し解析します。

5インチガラスウェーハ

表面と裏面の干渉縞が混じり合った干渉縞

FlatMaster-Industrialによる透明品測定データ(2Dプロット、3Dプロット、X断面、Y断面)

ウェーハのように比較的薄く、裏面の干渉縞が十分に得られやすいサンプルであれば、FlatMaster-Industrialでも独自の解析ソフトを使用することで一部の項目は測定できる場合もあります。さらにFlatMaster MSPでは、オプション不要で透明品の表面形状、厚みムラに加えて絶対厚みまで測定できます。

お電話(048-441-1133)かフォームにてご希望の内容をお聞かせ頂ければ、最適な装置をご案内させて頂きます。弊社にはいずれのデモ機もご用意がありますので、実際に貴社製品にて測定をお試し頂くことも可能です。

 

その他の測定事例

電話でのお問合せはこちら

048-441-1133

エスオーエル株式会社

〒335-0012 埼玉県戸田市中町1-34-1

受付時間:9:00~17:30(土日祝を除く)