装置仕様:FlatMaster-Industrial

FlatMaster-Industrialは、平面度を高精度に一括測定できる装置です。操作もシンプルで扱いやすく、素早く測定できるのが特長です。

仕様

機種名

FlatMaster40

FlatMaster100

FlatMaster200

測定原理

斜入射干渉計

サンプルサイズ

φ40mm

φ100mm

φ200mm

Zoom追従範囲(横分解能)

3.840mm
(14~117μm/pixel)

20100mm
(80~240μm/pixel)

40200mm
(96~457μm/pixel)

測定波長

670nm
半導体レーザー

635nm 半導体レーザー

縞感度

3μm/fringe

1.58μm/fringeの中で1つご指定

XRXRAオプション

不可


XRは4~8μm/fringeの中で3段階可変 
XRAは1.5~8μm/fringeの中で3段階可変

測定データ数

最大約25万点

測定分解能

0.01μm

測定精度(Accuracy)

0.10μm以下

繰返し精度(Repeatability)

0.025μm(1σ)以下

測定時間

サンプルセットから解析まで30秒以下

 

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