装置仕様:FlatMaster-Industrial

FlatMaster-Industrialは、平面度を高精度に一括測定できる装置です。操作もシンプルで扱いやすく、素早く測定できるのが特長です。

仕様

機種名

FlatMaster40

FlatMaster100

FlatMaster200

測定原理

フィゾー式斜入射干渉計

サンプルサイズ

φ40mm

φ100mm

φ200mm

Zoom追従範囲(横分解能)

3.840mm
(14~117μm/pixel)

20100mm
(80~240μm/pixel)

40200mm
(96~457μm/pixel)

測定波長

670nm
半導体レーザー

635nm 半導体レーザー

縞感度

3μm/fringe

1.58μm/fringeの中で1つご指定

XRXRAオプション

不可


XRは4~8μm/fringeの中で3段階可変 
XRAは1.5~8μm/fringeの中で3段階可変

測定データ数

最大約25万点

測定分解能

0.01μm

測定精度(Accuracy)

0.10μm以下

繰返し精度(Repeatability)

0.025μm(1σ)以下

測定時間

サンプルセットから解析まで30秒以下

特徴

測定時間30秒!全面一括高速測定

レーザー光を広げて全面一括で測定を行い、最大25万点のデータを取得できます。測定時間も短く、サンプルセットから解析まで30秒以下で完了します。また温度や振動など外部からの影響に強く、安定した高精度測定が可能です。

精度0.1μm以下!NISTトレーサブル

トロペル社の平面度測定機は全ラインナップにおいて、繰り返し精度(Repeatability)だけでなく、校正原器に対する測定精度(Accuracy)も保証しています。米国立標準技術研究所・NIST規格に準拠した校正原器も標準で付属しているため、毎日精度を確認した上で安心して測定して頂けます。

粗面から鏡面まで対応

光は入射角度によって反射率が大きく異なります。斜入射方式のFlatMasterでは反射率の高い角度を採用することで、鏡面だけでなく反射しにくい研削・切削面の測定にも対応しています。粗面から鏡面まで幅広い工程でお使い頂けます。

 

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