装置仕様:FlatMaster MSP

FlatMaster MSPは、平面度に加え平行度・高さも測定できる装置です。

仕様

機種名

FlatMaster MSP40

FlatMaster MSP150

FlatMaster MSP300

測定原理

垂直入射干渉計

サンプルサイズ

φ40mm

φ150mm

φ300mm

最大測定高さ

40mm

60mm

300mm

測定波長

830nm AlGaAs半導体レーザー

測定データ数

最大約78万点

最大約400万点

測定分解能

0.01μm

測定精度(Accuracy)

平面度

0.060μm

平行度

0.100μm

深さ

0.250μm

繰返し精度(Repeatability)

平面度

0.02μm

平行度

0.025μm

深さ 0.100μm

測定時間

サンプルセットから解析まで約60

 

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