装置仕様:FlatMaster MSP

FlatMaster MSPは、平面度に加え平行度・高さも測定できる装置です。

仕様

機種名

FlatMaster MSP40

FlatMaster MSP150

FlatMaster MSP300

測定原理

フィゾー式垂直入射干渉計

サンプルサイズ

φ40mm

φ150mm

φ300mm

最大測定高さ

40mm

60mm

300mm

測定波長

830nm AlGaAs半導体レーザー

測定データ数

最大約78万点

最大約400万点

測定分解能

0.01μm

測定精度(Accuracy)

平面度

0.060μm

平行度

0.100μm

深さ

0.250μm

繰返し精度(Repeatability)

平面度

0.02μm

平行度

0.025μm

深さ 0.100μm

測定時間

サンプルセットから解析まで約60

特徴

平行度や段差も!全面一括高速測定

平面度に加え、平行度や段差も測定できます。約60秒でサンプル全面最大78万点のデータを取得、解析まで完了します。温度や振動など外部からの影響に強く、安定した高精度測定が可能です。

精度0.1μm以下!NISTトレーサブル

トロペル社の平面度測定機は全ラインナップにおいて、繰り返し精度(Repeatability)だけでなく、校正原器に対する測定精度(Accuracy)も保証しています。米国立標準技術研究所・NIST規格に準拠した校正原器も標準で付属しているため、毎日精度を確認した上で安心して測定して頂けます。

粗面から鏡面まで対応

独自のフリンジスキャン方式により、鏡面だけでなく反射しにくい研削・切削面の測定にも対応しています。粗面から鏡面まで幅広い工程でお使い頂けます。

高精度高さ測定で加工プロセス評価も

全面最大78万点の高さデータを絶対値で取得できるため、高精度に高さを測定することが可能です。そのため加工前後で比較して研磨量分布を全面データで解析するなど、加工プロセスの評価にもお使い頂けます。

 

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