FlatMaster MSP

【測定事例】透明品:平行平面板

厚さ約9mmの平行平面板

同じ透明品でも今度はウェーハと違い、ある程度厚みのある平行平面板を測定します。

一定以上厚みがある場合、FlatMaster-Industrialでは裏面の反射光が十分に得られず高さも認識できないため、解析ソフトを使用しても厚みムラは測定できません。(透明品以外のサンプルと同じように、表面の平面度は測定できます。)

一方FlatMaster MSPでは、透明品に関する様々な測定・解析ができます。

また、形状だけでなく、屈折率分布を加味した光学的厚みムラの測定も可能です。

FlatMaster MSPによる厚みムラ・厚み測定

プロットが一部欠けているのはサンプルに接着剤がついていた箇所です。
ゴミの影響がある箇所のデータは欠落して表示されます。

参考:FlatMaster-Industrialによる平面度測定

表面形状のみならFlatMaster-Industrialでも測定可能です。

高さを測定できるFlatMaster MSPを使えば、裏面のデータを得られる透明なサンプルでは様々な解析が可能になります。ご要望がございましたらこちらよりお気軽にご相談下さい。
 

 

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