FlatMasterの特徴

FlatMasterシリーズはフォトマスクやウェーハ等の半導体業界を中心に、世界中で幅広くお使い頂いている平面度測定機です。近年では年々高まる精度要求にご対応される為、機械部品での導入実績も増えています。

FlatMasterの特徴

ここではFlatMasterの特徴を簡単にまとめています。詳細はそれぞれのリンク先をご覧下さい。

全面一括高速データ取得

全面一括でレーザー光を照射して測定しますので、一度に数十万点の平面度データを取得します

その為、測定時間もサンプルセットから解析まで含めてFlatMaster-Industrialなら30秒以下、FlatMaster MSPでも60秒以下です。
また、測定者による誤差が非常に小さい点も特長です。

精度0.1μm以下 世界標準のNISTトレーサブル

NISTの校正証明書

繰り返し精度(Repeatability)だけでなく、校正原器に対する測定精度(Accuracy)も保証しています。NISTトレーサブルの校正原器も標準で付属しているため、毎日精度を確認した上で安心して測定して頂けます。詳細な仕様はこちらをご覧下さい。。

粗面や透明品、高さのある部品にも

鏡面~粗面、透明品まで幅広く対応しています。MSPならスクロールコンプレッサー等、段差や奥まった面のあるサンプルでも測定可能です。詳細は測定対象サンプルページをご覧下さい。

様々な解析機能を搭載

うねり成分を抽出して加工痕を解析

ご要望に合わせて様々な解析機能をお使い頂けます。詳細は機能紹介ページをご覧下さい。

 

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エスオーエル株式会社

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