測定対象サンプル

FlatMaster-Industrialのサンプル例

FlatMaster-MSPのサンプル例

主に平面度(TIRまたはSORI)が100μm以下のサンプルが測定対象になります。特に実績が多いのは、平面度1μm前後のサンプルです。

面状態は反射光が得られれば測定出来ますので、粗面でも実績があります。

 

【FlatMaster-Industrial】

最大測定エリアはφ200mmです。

メカニカルシールやベアリング、ディスク、その他でお使い頂いています。

 

 

【FlatMaster MSP】

最大測定エリアはφ300mmです。

上記FlatMaster-Industrialの測定用途に加えて、段差のついたサンプルや、独立した複数の面を持つサンプルでお使い頂いています。

 

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エスオーエル株式会社

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