測定精度保証

世界標準のNISTトレーサブル

FlatMasterシリーズは繰り返し精度(Repeatability)だけでなく、校正原器に対する測定精度(Accuracy)も保証しています。

NISTトレーサブルの校正原器も標準で付属しているため、毎日精度を確認した上で安心して測定して頂けます。

測定精度
機種名 FlatMaster-Industrial FlatMaster MSP

測定精度
(Accuracy)

平面度 0.1μm以下 0.06μm
平行度 - 0.1μm
高さ - 0.25μm
繰り返し精度
(Repeatability)
(1σ)
平面度 0.025μm以下 0.02μm
平行度 - 0.025μm
高さ - 0.1μm

 

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エスオーエル株式会社

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