コーニング・トロペル社概要

TROPEL社は、レンズ光学の研究で世界的に有名なロチェスター大学レンズ光学研究室(米国・ニューヨーク州)の3人の教授が、1953年に設立したベンチャー企業に端を発しています。トロペルの名の由来は、Rochester Optics Electronicsから各々の頭文字をとり、ROPELとし、さらに発音しやすいように最初にTを冠し、TROPELとしたものです。

TROPEL社の名が世界的に知られるようになったのは、物の平坦度を測定できる非接触斜入射位相干渉法を発明して以来です。

これは、TROPEL社の元社長、現在、CORNING社のExecutive Scientistを務めているDr.John.H.Bruningが1978年、I.R.100(レンズ光学研究では世界最高の栄誉ある賞)を受賞したPMI(Phase Measurement Interferometry)法という方法で、HeNeレーザー光(波長633nm)をプリズムの法線に対し、80°以上の角度で斜入射し、その干渉縞を意図的に移動させることによって、装置内部分解能0.003μm、出力分解能0.01μmを実現。ウェーハの高平坦度測定を可能にしたものです。

その後、2001年に光ファイバーで有名なCORNING社の傘下に入りました。

コーニング・トロペル社沿革

1953年 Tropel社は1953年に光学分野で世界的に有名なロチェスター大学、光学研究所の3名の教授により設立
1960年~

XEROX社フォトコピー装置の全試作機を設計、製作

1971年 波面解析用の位相差測定干渉計をAT&Tベル研究所と共同開発
1978年 フォトマスク・ウェーハ用平面度測定機を発売開始
2001年 Corning Tropel社として、Corning社の傘下に入る
2009年 平面度・平行度・高さ測定機 FlatMaster MSP40/150を発売開始
2011年 大口径化対応の FlatMaster MSP300を発売開始
2012年 超高精度ウェーハ形状・厚み測定機 FlatMaster MSP-Waferを発売開始
2013年 粗さ測定機 FlatMaster-Raを発売開始
2015年 次世代型自動ウェーハ平面度測定機 UltraSortⅡを発売開始

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