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世界標準のNISTトレーサブル
FlatMasterシリーズは繰り返し精度(Repeatability)だけでなく、校正原器に対する測定精度(Accuracy)も保証しています。
NISTトレーサブルの校正原器も標準で付属しているため、毎日精度を確認した上で安心して測定して頂けます。
機種名 | FlatMaster-Industrial | FlatMaster MSP | |
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測定精度 | 平面度 | 0.1μm以下 | 0.06μm |
平行度 | - | 0.1μm | |
高さ | - | 0.25μm | |
繰り返し精度 (Repeatability) (1σ) | 平面度 | 0.025μm以下 | 0.02μm |
平行度 | - | 0.025μm | |
高さ | - | 0.1μm |